隆基绿能新获得发明专利授权：“一种硅片处理方法和硅片处理装置”

专利摘要：本发明实施例提供了一种硅片处理方法和硅片处理装置，硅片处理方法包括：提供硅片；提供反应气体，其中，所述反应气体至少包括含氧气体和含卤气体；在第一预设温度下，采用所述含氧气体与所述硅片的表面反应，以使所述硅片的表面形成保护膜；在第二预设温度下，采用所述含卤气体与形成所述保护膜的所述硅片的表面反应，以去除所述硅片的表面的金属杂质，其中，所述硅片的基体内的金属杂质在所述第二预设温度下可扩散至所述硅片的表面。可以有效提高所述硅片的纯度，并降低对所述硅片纯化的成本。

今年以来隆基绿能新获得专利授权454个，较去年同期增加了160.92%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了9.76亿元，同比增111.09%。

数据来源：企查查

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